In mjitmiddel foar analysearjen en mjitten fan optyske parameters fan balken en rjochte spots. It bestiet út in optyske wizende ienheid, in optyske Autentiidseenheid, in ienheid fan 'e hjittebehandeling en in optyske imaging-ienheid. It is ek foarsjoen fan softwareanalyse mooglikheden en leveret testrapporten.
(1) Dynamyske analyse fan ferskate yndikatoaren (enerzjyferdieling, peakkrêft, ellipticiteit, M2, spotgrutte) binnen de djipte fan fokusberik;
(2) Bride golflingte Reaksje fariearje fan UV nei Ir (190NM-1550nm);
(3) Meardere spot, kwantitatyf, maklik te betsjinjen;
(4) Drompel fan hege skea oan 500W gemiddelde krêft;
(5) Ultra hege resolúsje oant 2,2um.
Foar ien-beam as multi-beam en beam fokusje fokusjen fan parametermjitting.
| Model | Fsa500 |
| Wavellingt (NM) | 300-1100 |
| NA | ≤0.13 |
| Tagongspreksposysje spot diameter (mm) | ≤17 |
| Gemiddelde krêft(W) | 1-500 |
| Fotosensitive grutte (mm) | 5,7x4.3 |
| Mjitbere plak diameter (mm) | 0.02-4.3 |
| Frame Rate (FPS) | 14 |
| Ferbinster | USB 3.0 |
It golflingte berik fan 'e testbeam is 300-1100nm, it gemiddelde beamkrêft is 1-500W, en de diameter fan it fokusearre plak om berik te wurden út in minimum fan 20μm oant 4.3 mm.
Yn gebrûk beweecht de brûker de module as ljochtboarne om de bêste testposysje te finen, en brûkt dan it ynboude software fan it systeem foar gegevensmjitting en analyse.De software kin de ferdieling fan twa-dimensjoneel en trije-dimensjonele yntensiteit werjaan fan 'e dwersstekens fan it ljochtspot, en kinne ek werjaan, lykas de grutte, ellipticiteit, relative posysje, en yntinsiteit fan it ljochtplak yn' e twadimensionale rjochting. Tagelyk kin de beam M2 manuell wurde mjitten.
